小型溅射仪(KT-Z1650PVD) 简易操作流程:
1、放置好样品后打开机械泵或分子泵
2、设置镀膜参数，镀膜真空建议设置2pa左右(分子泵在1pa)
3、抽真空到5pa以下点击开始运行
4、此时设备自动运行(进气管道清洗60s一抽本底真空至1pa
保持本底真空300s一保持镀膜真空200s)
5、镀膜开始。测试时间(由自己设置)一正式镀膜(由自己设置)
6、镀膜结束，自动停止。关闭泵组，打开放气阀，取出样品
设备运行请良好接地
注:设备运行时必须开启水冷否则会造成设备损坏
请定期清理打磨靶材、靶材罩、靶材底座绝缘片