分子泵机组(KT-150YCF )简易操作流程:
简易操作流程:
1、连接好设备之后打开挡板阀
2、点击前级泵运行
3、待右上角真空计示数小于10pa,开启分子泵运行
4、分子泵运行之后,达到一定转速高真空真空计自动开启
5、关机流程:先关闭挡板阀,点分子泵关闭,待转速为0之后,
关闭机械泵(也可按STOP按钮3s后自动运行关闭程序)
注意事项:
1、分子泵运行过程中严禁移动、严禁直接通入大气
2、分子泵不能用于抽除腐蚀性气体、液体及带有粉尘、固体颗粒
的气体,如果被抽气体含有少量固体尘埃,必须在泵口安装多层过滤网